电力设备及新能源行业：光伏系列报告五十四：PECVD有望规模应用相关供应

拓普康电池基本上是由PERC电池的基础设施升级而来，两者的主要区别在于钝化层的制备在TOPCon中制备钝化层的几种技术路线中，主要有LPCVD，PECVD，PVD等其中PECVD方案具有成膜速度快，节能，运行成本相对较低的优势，是预期差异相对较大的方向我们判断PECVD路线有望在下半年应用，相关设备公司有望显著受益

TOPcon和PERC的主要区别在于钝化层的制备拓普康电池基本上是由PERC电池的基础设施升级而来，正面看两者没有本质区别主要区别在于背面的钝化接触技术，即在电池背面制备一层超薄隧穿氧化硅，再沉积一层掺杂多晶硅，形成钝化接触结构除了参与钝化层制备的设备不同，TOPCon和PERC其他环节的设备变化不大

核心进程的多个路线是并行的目前主要有三条技术路线:LPCVD，PECVD，PVD，是拓普康电池制备的核心工艺，即钝化接触制备，其中LPCVD相对成熟，PECVD管是主要技术，依靠射频感应产生的等离子体实现薄膜沉积过程，具有成膜速度快，节能，运行成本相对较低的优点PVD计划也值得期待

目前，LPCVD是制备钝化层的主要技术路线，但PECVD预计会更差TOPCon还处于普及的初级阶段，所以在隧道氧化层和多晶硅层的制备上有很多选择LPCVD路线在解决了圆镀问题后被广泛使用，但热壁沉积等问题会增加运维成本PECVD路线目前不如LPCVD路线先进，但潜力很大制备钝化层的具体工艺取决于各个企业对不同技术路线的掌握程度

相关供应商可以从大量的PECVD路线中显著受益在晶科能源，骏达股份等公司率先采用LPCVD推进拓普康大规模产业化后，我们判断PECVD下半年可能会有大规模应用与PECVD相比，目前设备成本约为1.6—1.9亿元/GW，其中PECVD设备总投资约为1.6—1.8亿元/GW主要区别在于背膜沉积设备价值约为3500—5000万元/GW，约占全线设备价值的20—30%其他设备的价值与LPCVD路线基本相同预计未来几年电池设备年市场空间将超过120亿元，PECVD路线的放量可能对相关供应商产生重大影响

推荐关注:捷佳威创，海慕星，奥特威/迪尔激光，金晨，京山轻机，Robotec。

风险:拓普康产业化进度不如预期，PECVD技术路线推进不如预期。

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